而CMP工艺离不开研磨料的发展,那么对于磨料的颗粒粒度表征就显得尤为重要了。CMP就是用化学腐蚀和机械力对加工过程中的硅晶圆或其它衬底材料进行平滑处理。将硅片固定在抛光头的较下面,将抛光垫放置在研磨盘上,抛光时,旋转的抛光头以一定的压力压在旋转的抛光垫上,由亚微米或纳米磨粒和化学溶液组成的研磨液在硅片表面和抛光垫之间流动,然后研磨液在抛光垫的传输和离心力的作用下,均匀分布其上,在硅片和抛光垫之间形成一层研磨液液体薄膜。驰光机电科技有限公司提供周到的解决方案,满足客户不同的服务需要。贵州纳米粒度分析仪厂家
而化学机械抛光(Chemical mechanical polishing,CMP)是集成电路芯片的一个关键制程,国内抛光所用关键材料CMP抛光垫,几乎全部依赖进口。CMP典型的抛光浆料都是纳米级发烟硅石(5Vol%,170-230nm)、高纯硅胶(9Vol%,6-80nm)、氧化铈(6Vol%,200-240nm)或氧化铝颗粒,它们的粒度或粒度分布必须小心地进行控制以免在抛光面上产生刮痕。CMP浆料的分散稳定性和保存期也是必须被认真考虑的重要环节。这种纳米浆料的使用浓度一般在(5-30W%),容易聚集。随着贮存时间延长,它的粒度可能增大从而导致损害的产生。江苏高灵敏度纳米粒度分析仪报价驰光机电科技有限公司以质量求生存,以信誉求发展!
UHR型可达1%,良好性能:CPS高精度纳米粒度分析仪能够提供高分辨率准确的分析结果,即使对于使用其它分析方法非常难分析的样品,CPS依然能够提供满意的分析结果。高分辨率:CPS具有强大的分辨率,粒径差别在2%以内的窄峰可以被完全分辨出来。所示样品包含五种不同的聚苯乙烯标定颗粒,在图中可以清楚地看到它们完全被分辨出来呈现为五个单独的粒度峰。高准确度:可追溯&校准到NIST标准颗粒的可靠、重复性结果。高精度:与SEM/显微镜分析结果的对比。
氧化锌的能带隙和激子束缚能较大,透明度高,有优良的常温发光性能,在半导体领域的液晶显示器、薄膜晶体管、发光二极管等产品中均有应用。氧化锌粉末还用于制作口腔用品,如牙膏、牙凝胶、牙粉等。粒度仍然是评价氧化锌粉末的重要指标!CPS纳米粒度分析仪是您的较佳选择!CPS纳米粒度仪测得的氧化锌粉末的粒径分布结果,平均粒径为0.541微米;仪器使用转速为12,000转/分。应用实例:病毒颗粒的粒径分布及疫苗的研发,病毒颗粒的团聚和聚集对病毒解决的临床安全性和疗效有重要影响。驰光以诚信为根本,以质量服务求生存。
CMP浆料粒度分析的难点在于必须在抛光过程中全浓度条件下快速测定平均颗粒直径和粒度分布,因为稀释可能导致浆料稳定性和粒度的变化(比如进一步的团聚或解聚),另外在稀释后的浆料中很难检测本来就较少量的团聚体。CPS-24000型纳米粒度分析仪是较新型的纳米粒度分析仪,它采用斯托克斯定律分析方法,V=D²(ρP-ρF)G/18η,即颗粒沉降的速度与颗粒的尺寸平方成正比来进行粒度的测量,因此粒径相差小至1%的颗粒都可以明显分辨出来。适用于稀到高浓度的样品粒度测定,对团聚体的存在非常敏感。驰光拥有先进的产品生产设备,雄厚的技术力量。浙江高纯度氧化铝粉粒度在线分析仪价格
驰光机电科技设备的引进更加丰富了公司的设备品种,为用户提供了更多的选择空间。贵州纳米粒度分析仪厂家
印刷和涂料,涂料:水基和油基涂料,微纤维涂料粘度改性剂,打印机/复印件墨粉,喷墨打印机墨水,炭黑,磁性材料。半导体:微磨料,CMP化学机械抛光。其他:纳米微球,淀粉/面粉颗粒,颗粒团聚模式分析,标准颗粒。CPS纳米粒度分析仪的操作软件集数据于一体,主要包括以下特性:后台数据采集,允许测量时浏览数据;重量,表面积,数量和吸收分布图;可以在同一张图表上显示20个不同的分布结果;可定制的分布统计输出结果;完整的粒度分布统计。贵州纳米粒度分析仪厂家